Profilométrie des propriétés élastiques des couches minces transporentes par interférométrie acoustique ultrarapide

dc.contributor.author	Mechri, C
dc.contributor.author	Ruello, P
dc.contributor.author	Breteau, J.-M.
dc.contributor.author	Baklanov, Mikhaïl
dc.contributor.author	Verdonck, Patrick
dc.contributor.author	Gusev, V.
dc.contributor.imecauthor	Verdonck, Patrick
dc.contributor.orcidimec	Verdonck, Patrick::0000-0003-2454-0602
dc.date.accessioned	2021-10-18T18:58:06Z
dc.date.available	2021-10-18T18:58:06Z
dc.date.issued	2010
dc.identifier.issn	1631-4670
dc.identifier.uri	https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/17605
dc.source.beginpage	155
dc.source.endpage	173
dc.source.issue	1_2
dc.source.journal	Instrumentation, Mesure, Métrologie
dc.source.volume	10
dc.title	Profilométrie des propriétés élastiques des couches minces transporentes par interférométrie acoustique ultrarapide
dc.type	Journal article
dspace.entity.type	Publication
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