Publication:

High-k dielectrics and metal gates for future generation memory devices

Date

2009

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Files

19477.pdf 155.38 KB

Author(s)

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Popovici, Mihaela Ioana

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Adelmann, Christoph

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Pawlak, Malgorzata

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Tomida, Kazuyuki

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Rothschild, Aude

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Govoreanu, Bogdan

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Degraeve, Robin

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Schaekers, Marc

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Zahid, Mohammed

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Delabie, Annelies

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Meersschaut, Johan

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Pourtois, Geoffrey

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Detavernier, C.

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Afanasiev, Valeri

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Pierreux, Dieter

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Vandervorst, Wilfried

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Conard, Thierry

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Franquet, Alexis

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Van Elshocht, Sven

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Statistics

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