Publication:
Mikrolinsen-Array fur ein vielstrahliges REBL Lithographie-Tool
Date
| dc.contributor.author | Vereecke, Bart | |
| dc.contributor.imecauthor | Vereecke, Bart | |
| dc.date.accessioned | 2021-10-21T14:03:42Z | |
| dc.date.available | 2021-10-21T14:03:42Z | |
| dc.date.embargo | 9999-12-31 | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.issn | 1432-9778 | |
| dc.identifier.uri | https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/23328 | |
| dc.identifier.url | http://www.photonik.de/pl/14/0/0/98/mikrolinsen-array-fuer-ein-vielstrahliges-rebl-lithographie-tool.html | |
| dc.source.beginpage | ongep. | |
| dc.source.issue | 2 | |
| dc.source.journal | Photonik. Fachzeitschrift für die Optischen Technologien | |
| dc.title | Mikrolinsen-Array fur ein vielstrahliges REBL Lithographie-Tool | |
| dc.type | Journal article | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| Files | Original bundle
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