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Mikroantrieb in MEMS-Technologie nach dem Inchworm-Prinzip

Date

 
dc.contributor.authorErismis, Mehmet Akif
dc.date.accessioned2021-10-18T16:15:59Z
dc.date.available2021-10-18T16:15:59Z
dc.date.issued2010
dc.identifier.urihttps://imec-publications.be/handle/20.500.12860/17081
dc.source.beginpage55
dc.source.endpage56
dc.source.journalMarkt&Technik
dc.title

Mikroantrieb in MEMS-Technologie nach dem Inchworm-Prinzip

dc.typeJournal article
dspace.entity.typePublication
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