Publication:
Optimalisatie en karakterisatie van PECVD siliciumoxinitridelagen - Toepassing in een dunne film multichipmodule op silicium
Date
| dc.contributor.author | Lernout, Jo | |
| dc.date.accessioned | 2021-09-30T12:33:34Z | |
| dc.date.available | 2021-09-30T12:33:34Z | |
| dc.date.issued | 1998-11 | |
| dc.identifier.uri | https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/2717 | |
| dc.title | Optimalisatie en karakterisatie van PECVD siliciumoxinitridelagen - Toepassing in een dunne film multichipmodule op silicium | |
| dc.type | PHD thesis | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| Files | ||
| Publication available in collections: |