Publication:
Eine Vielversprechende Technologie zur Integration von MEMS auf CMOS-Schaltungen
Date
| dc.contributor.author | Van Bavel, Mieke | |
| dc.contributor.author | Hermans, Lou | |
| dc.contributor.author | Witvrouw, Ann | |
| dc.contributor.imecauthor | Van Bavel, Mieke | |
| dc.date.accessioned | 2021-10-17T11:31:47Z | |
| dc.date.available | 2021-10-17T11:31:47Z | |
| dc.date.issued | 2008-06 | |
| dc.identifier.issn | 0347-5589 | |
| dc.identifier.uri | https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/14597 | |
| dc.identifier.url | www.elektronikpraxis.vogel.de/themen/elektronikfertigung/mikromontagemikrosystemtechnik/articles/125562/ | |
| dc.source.journal | Elektronikpraxis | |
| dc.title | Eine Vielversprechende Technologie zur Integration von MEMS auf CMOS-Schaltungen | |
| dc.type | Journal article | |
| dspace.entity.type | Publication | |
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