Authors

Mansano, Ronaldo; Ordonez, Nilson; Morimoto, Nilton; Verdonck, Patrick; Carbonne, Bertrand; Danto, Yves; Bonnaud, Olivier

ISSN

1638-1963

Journal

Journal sur l'Enseignement des Sciences et Technologies de l'Information et des Systèmes - J3eA

Volume

7

Title

Design and realization of a photolithography alignment and UV exposure equipment for pedagogical and laboratory experiment purposes

Publication type

Journal article

Embargo date

9999-12-31