Trends beim Einbau von MEMS auf Wafer-Ebene

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Metadata
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Authors
Baert, Kris; De Moor, Piet; Tilmans, Harrie; John, Joachim; Witvrouw, Ann; Van Hoof, Chris; Beyne, Eric; Van Bavel, Mieke
Journal
Elektronik Produktion und Prüftechnik
Title
Trends beim Einbau von MEMS auf Wafer-Ebene
Publication type
Journal article
Collections