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Influence du procédé de dépôt de l'électrode supérieure sur la fiabilité de condensateurs ferroélectriques intégrés à base de SBT

dc.contributor.authorGoux, Ludovic
dc.date.accessioned2021-10-15T13:37:42Z
dc.date.available2021-10-15T13:37:42Z
dc.date.issued2004
dc.identifier.urihttps://imec-publications.be/handle/20.500.12860/8973
dc.sourceIIOimport
dc.titleInfluence du procédé de dépôt de l'électrode supérieure sur la fiabilité de condensateurs ferroélectriques intégrés à base de SBT
dc.typeOral presentation
dc.contributor.imecauthorGoux, Ludovic
dc.contributor.orcidimecGoux, Ludovic::0000-0002-1276-2278
dc.source.peerreviewno
dc.source.conferenceJournées Couches Ferroélectriques - JCF
dc.source.conferencedate18/11/2004
dc.source.conferencelocationBesançon France
imec.availabilityPublished - imec


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