Authors

Luysberg, M.; Buca, D.; Mantl, S.; Morschbacher, M.; Fichner, P.; Loo, Roger; Caymax, Matty; Urban, K.; Hueging, N.

Conference

Frühjahrstagung der Deutschen Physischen Gesellschaft

Title

Untersuchung der Heliumimplantation als Schlüsselprozess in der Relaxtion von pseudomorphischen SiGe/Si Heterostrukturen

Publication type

Oral presentation