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Dislocation nucleation and movement in helium implanted SiGe/Si(001)Heterostructures studied by in-situ TEM

Hueging, N.
;
Luysberg, M.
;
Urban, K.
;
Buca, D.
;
Holländer, B.
;
Mantl, S.
;
Morschbacher, M.
Oral presentation
2004, Dislocation Meeting
He implantation induced relaxation of SiGe/Si: nucleation of dislocations and coarsening of He bubbles

Luysberg, M.
;
Hueging, N.
;
Urban, K.
;
Buca, D.
;
Holländer, B.
;
Mantl, S.
;
Morschbacher, M.
Proceedings paper
2004, Program and Abstracts Book 2nd International SiGe Technology and Device Meeting - ISTDM, 17/05/2004, p.117-118
In-situ TEM on He implantation induced defects in SiGe/Si

Luysberg, Martina
;
Hueging, N.
;
Urban, K.
;
Buca, D.
;
Holländer, B.
;
Mantl, S.
;
Morschbacher, M.
Proceedings paper
2004, Proceedings of the 13th European Microscopy Congress. Volume 2: Materials Sciences, 22/08/2004, p.377-378
Untersuchung der Anreicherung von Germanium in heliumimplantierten SiGe/Si-Heterostrukturen durch Oxidation

Hueging, N.
;
Luysberg, M.
;
Buca, D.
;
Hollander, B.
;
Mantl, S.
;
Loo, Roger
;
Caymax, Matty
;
Urban, K.
Proceedings paper
2005, Fr|hjahrstagung der Deutschen Physischen Gesellschaft, 4/03/2005
Untersuchung der Heliumimplantation als Schlüsselprozess in der Relaxtion von pseudomorphischen SiGe/Si Heterostrukturen

Luysberg, M.
;
Buca, D.
;
Mantl, S.
;
Morschbacher, M.
;
Fichner, P.
;
Loo, Roger
;
Caymax, Matty
;
Urban, K.
Oral presentation
2004, Frühjahrstagung der Deutschen Physischen Gesellschaft