Process Integration of High Aspect Ratio Vias with a Comparison between Co and Ru Metallizations

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Author(s)

Vega Gonzalez, Victor

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Montero Alvarez, Daniel

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Versluijs, Janko

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Varela Pedreira, Olalla

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Jourdan, Nicolas

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Puliyalil, Harinarayanan

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Peissker, Tobias

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Martinez Alanis, Gerardo Tadeo

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Bazzazian, Nina

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van der Veen, Marleen

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Cupak, Miroslav

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Drissi, Youssef

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Gillijns, Werner

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Charley, Anne-Laure

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Verdonck, Patrick

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Witters, Thomas

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Van Gompel, Sander

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De Wachter, Bart

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Ercken, Monique

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Kim, Ryan Ryoung han

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Leray, Philippe

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Jaysankar, Manoj

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Nagesh, Nishanth

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Dentoni Litta, Eugenio

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Horiguchi, Naoto

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