Scaling of high-k dielectrics towards sub-1nm EOT

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Author(s)

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Boullart, Werner

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Carter, Richard

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Conard, Thierry

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De Gendt, Stefan

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Degraeve, Robin

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Delabie, Annelies

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Groeseneken, Guido

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Henson, Kirklen

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Kauerauf, Thomas

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Kubicek, Stefan

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Lujan, Guilherme

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Pantisano, Luigi

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Richard, Olivier

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Vandervorst, Wilfried

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Van Doorne, Patrick

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Van Elshocht, Sven

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Westlinder, Jörgen

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Witters, Thomas

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Cartier, Eduard

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Cosnier, Vincent

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Kerber, Andreas

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Shimamoto, Yasuhiro

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Bajolet, Philippe

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De Witte, Hilde

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Coenegrachts, Bart

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Vertommen, Johan

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Passefort, Sophie

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1961 since deposited on 2021-10-15

Acq. date: 2025-10-23