Publication:

Scaling of high-k dielectrics towards sub-1nm EOT

Date

2003
Proceedings Paper
Simple item page Full metadata Statistics
Loading...
Thumbnail Image

Author(s)

Heyns, Marc  
;
Beckx, Stephan  
;
Bender, Hugo  
;
Blomme, Pieter  
;
Boullart, Werner  
;
Brijs, Bert
;
Carter, Richard
;
Caymax, Matty  
;
Claes, Martine  
;
Conard, Thierry  
;
De Gendt, Stefan  
;
Degraeve, Robin  
;
Delabie, Annelies  
;
Deweerd, Wim
;
Groeseneken, Guido  
;
Henson, Kirklen
;
Kauerauf, Thomas
;
Kubicek, Stefan  
;
Lucci, Luca
;
Lujan, Guilherme
;
Mentens, Jimmy
;
Pantisano, Luigi
;
Petry, Jasmine
;
Richard, Olivier  
;
Röhr, Erika
;
Schram, Tom  
;
Vandervorst, Wilfried  
;
Van Doorne, Patrick
;
Van Elshocht, Sven  
;
Westlinder, Jörgen
;
Witters, Thomas  
;
Zhao, Chao
;
Cartier, Eduard
;
Chen, Jerry
;
Cosnier, Vincent
;
Green, Martin
;
Jang, Se Aug
;
Kaushik, Vidya
;
Kerber, Andreas
;
Kluth, Jon
;
Lin, Steven
;
Tsai, Wilman
;
Young, Edward
;
Manabe, Yukiko
;
Shimamoto, Yasuhiro
;
Bajolet, Philippe
;
De Witte, Hilde
;
Maes, Jan  
;
Date, Lucien  
;
Pique, Didier
;
Coenegrachts, Bart  
;
Vertommen, Johan
;
Passefort, Sophie

Journal

Abstract

Description

Metrics

Views

1963 since deposited on 2021-10-15
Acq. date: 2026-01-06

Citations

Metrics

Views

1963 since deposited on 2021-10-15
Acq. date: 2026-01-06

Citations