Publication:

Front-side Integration of Middle-of-line Stacked Contacts for Monolithic CFET

Date

2024
Proceedings Paper
https://doi.org/10.1109/IITC61274.2024.10732165
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Author(s)

Vega Gonzalez, Victor  
;
Stiers, Karen  
;
Sheng, C.
;
Demuynck, Steven  
;
Toledo de Carvalho Cavalcante, Camila  
;
Petersen Barbosa Lima, Lucas  
;
Chiarella, Thomas  
;
Boemmels, Juergen  
;
Sarkar T.
;
Franchina Vergel, Nathali  
;
Radisic, Dunja  
;
Loo, Roger  
;
Rosseel, Erik  
;
Porret, Clément  
;
Mannaert, Geert  
;
Choudhury, Subhobroto  
;
Brissonneau, Vincent  
;
Dupuy, Emmanuel  
;
Peter, Antony  
;
Jourdan, Nicolas  
;
Soulie, J. P.
;
Nakamata, T.
;
Romo Negreira, Ainh
;
Clark, R.
;
Vandersmissen, Kevin  
;
Sebaai, Farid  
;
Puttarame Gowda, Pallavi  
;
Lai, J. G.
;
Mingardi, Andrea  
;
Sarkar, Sujan Kumar  
;
Chan, BT  
;
Sepulveda Marquez, Alfonso  
;
Langer, Robert  
;
Koo, Il Gyo  
;
Altamirano Sanchez, Efrain  
;
Devriendt, Katia  
;
Rincon Delgadillo, Paulina  
;
Lazzarino, Frederic  
;
Mitard, Jerome  
;
Geypen, Jef  
;
Batuk, Dmitry  
;
Chen, Yi-Fan  
;
Verbeeck, F.
;
Holsteyns, Frank  
;
Subramanian, S.
;
Tokei, Zsolt  
;
Horiguchi, Naoto  
;
Biesemans, Serge  

Journal

Abstract

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184 since deposited on 2025-03-06
2last month
1last week
Acq. date: 2026-01-06

Citations

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