Multiple-Vt FinFET devices through La2O3 dielectric capping

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Author(s)

Witters, Liesbeth

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Veloso, Anabela

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Ferain, Isabelle

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Collaert, Nadine

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Adelmann, Christoph

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Meersschaut, Johan

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Kubicek, Stefan

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De Meyer, Kristin

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Biesemans, Serge

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Metrics

1983 since deposited on 2021-10-17

Acq. date: 2025-10-23