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Determination par EDS de l'épaisseur et de la composition de films minces multicouches pour applications nanoélectroniques
Publication:
Determination par EDS de l'épaisseur et de la composition de films minces multicouches pour applications nanoélectroniques
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Date
2012
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Basic data
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Chicago
Harvard
IEEE
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Author(s)
Franquet, Alexis
;
Conard, Thierry
;
Gilbert, Matthieu
;
Hantschel, Thomas
;
Vandervorst, Wilfried
Journal
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Description
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1920
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1
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Acq. date: 2025-12-15
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