Integration of tall triple-gate devices with inserted TaxNy gate in a 0.274μm² 6T-SRAM cell and advanced CMOS logic circuits

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Author(s)

Witters, Liesbeth

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Collaert, Nadine

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Nackaerts, Axel

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Demuynck, Steven

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Delvaux, Christie

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Baerts, Christina

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Boullart, Werner

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de Marneffe, Jean-Francois

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De Meyer, Kristin

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Ercken, Monique

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Goodwin, Michael

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Hendrickx, Eric

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Jaenen, Patrick

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Leray, Philippe

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Locorotondo, Sabrina

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Maenhoudt, Mireille

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Moelants, Myriam

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Pollentier, Ivan

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Rooyackers, Rita

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Van Aelst, Joke

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Vandenberghe, Geert

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Vandeweyer, Tom

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Vanhaelemeersch, Serge

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Van Hove, Marleen

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Verhaegen, Staf

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Versluijs, Janko

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Vrancken, Christa

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Willems, Patrick

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Wouters, Johan M. D.

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Biesemans, Serge

Metrics

1968 since deposited on 2021-10-16

Acq. date: 2025-10-23