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Buried Power Rail Integration with Si FinFETs for CMOS Scaling beyond the 5 nm Node

Date

2020
Proceedings Paper
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Author(s)

Gupta, Anshul  
;
Mertens, Hans  
;
Tao, Zheng  
;
Demuynck, Steven  
;
Boemmels, Juergen  
;
Arutchelvan, Goutham  
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Devriendt, Katia  
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Varela Pedreira, Olalla  
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Ritzenthaler, Romain  
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Wang, Shouhua  
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Radisic, Dunja  
;
Kenis, Karine  
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Teugels, Lieve  
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Sebaai, Farid  
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Lorant, Christophe  
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Jourdan, Nicolas  
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Chan, BT  
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Zahedmanesh, Houman  
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Subramanian, Sujith  
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Schleicher, Filip  
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Hopf, Toby  
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Peter, Antony  
;
Rassoul, Nouredine  
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Debruyn, Haroen  
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Demonie, Ingrid  
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Siew, Yong Kong  
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Chiarella, Thomas  
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Briggs, Basoene  
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Zhou, Daisy  
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Rosseel, Erik  
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De Keersgieter, An  
;
Capogreco, Elena  
;
Dentoni Litta, Eugenio  
;
Boccardi, Guillaume  
;
Baudot, Sylvain  
;
Mannaert, Geert  
;
Bontemps, N.
;
Sepulveda Marquez, Alfonso  
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Mertens, Sofie  
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Kim, Min Soo  
;
Dupuy, Emmanuel  
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Vandersmissen, Kevin  
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Paolillo, Sara  
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Yakimets, Dmitry  
;
Chehab, Bilal  
;
Favia, Paola  
;
Drijbooms, Chris  
;
Cousserier, Joris  
;
Jaysankar, Manoj  
;
Lazzarino, Frederic  
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Morin, Pierre  
;
Altamirano Sanchez, Efrain  
;
Mitard, Jerome  
;
Wilson, Chris  
;
Holsteyns, Frank  
;
Tokei, Zsolt  
;
Horiguchi, Naoto  

Journal

na

Abstract

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2091 since deposited on 2021-11-02
Acq. date: 2025-12-11

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