Authors

Hueging, N.; Luysberg, M.; Buca, D.; Hollander, B.; Mantl, S.; Loo, Roger; Caymax, Matty; Urban, K.

Conference

Fr|hjahrstagung der Deutschen Physischen Gesellschaft

Title

Untersuchung der Anreicherung von Germanium in heliumimplantierten SiGe/Si-Heterostrukturen durch Oxidation

Publication type

Proceedings paper